真空擴散焊爐的真空系統(tǒng)由一臺直連泵、擴散泵、一臺氣動高真空閥、充保護氣氛閥(Ar、N2)、放氣閥、真空壓力表(±Pa)等組成，真空管道與泵的聯接采用金屬波紋軟管快速接頭聯接(減緩震動)，真空度的測量由數顯復合真空計執(zhí)行。

　　真空擴散焊爐的技術特色說明：

　　1.加熱元件模塊化，多面加熱，多區(qū)控溫，PID多段程序控溫，溫度均勻性好。除配裝壓力傳感器外，還裝配進口的重量傳感器，重量傳感器的測量數值直接顯示重量值，結合擴散焊面積，亦可換算成MPa數字，測量精度高于液壓油壓力測量值，壓力控制精度高;配裝高精度位移光柵尺，位移控制精度準確;獨立的伺服補壓控制系統(tǒng)，確保24小時恒壓值不變，恒定壓力準確。

　　2.專業(yè)動密封結構，確保其在真空高壓下多年穩(wěn)定運行，無泄漏。壓力場經3D有限元壓力模擬校核，上/下壓頭安全余量足，高溫下無微量變形，受壓工件基面平整。上下壓頭選用合金材料，兩平面通過磨床平磨后，還經過手工刮研，精研處理。

　　3.上壓頭具備自適應調整功能，該自適應整機構經數控機床加工而成，確保上壓頭沿X軸Y軸方向360°自由旋轉，Z軸旋轉度要特定限制，嚴格限制在以壓頭端面對角線一定范圍內的設計調節(jié)范圍。